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1、物料及設備之進出也必須經過潔凈程序，方不至于影響無塵車間之潔凈度。

2、工作人員于其室內清潔設備或物料時必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3~5％濃度的IPA或丙酮化學品，以增強去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。

3、無塵車間內用品除了進出無塵車間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運車、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物之材質，另外經過磨擦不產生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。

頭罩材質為無塵紙或無紡布制成，帽子材質則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件。